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      • WSB300粘片機
        粘片機,Logitech WSB300 晶圓基板鍵合設備專為提供穩定一致的晶圓良率而設計,在性能上毫不妥協。該設備為單工位系統,具備高度自動化功能,集成了真空、壓力以及樹脂鍵合能力。操作人員可以在后續加工前,將單片晶圓安裝并鍵合到玻璃基板上。系統能夠在大尺寸晶圓范圍內,實現晶圓與玻璃支撐盤之間的高度平行性。通過觸摸屏面板,可精確控制所有工藝參數,包括可編程的鍵合溫度和真空度。
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        更新日期

        2026-05-14
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      • WSB自動粘片機
        WSB自動粘片機The Logitech WSB unit offer premium bonding for the processing of fragile semiconductor wafers such as Silicon and Gallium Arsenide.
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        2026-05-14
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